News and Events

(今後の発表、イベント予定)

第3回プロトンビームライティングとその応用に関するシンポジウム  

The 3rd Symposium on Proton Beam Writing and Its Applications

・日時:2016年2月24日(水)、9:30-17:00(Feb. 24, 2016, 9:30-17:00)                                        ・場所:芝浦工業大学豊洲キャンパス 交流棟4F, 402教室                       (5F Room 501, Toyosu Campus, Shibaura Institute of Technology, 3-7-5 Koto-ku, Tokyo 135, Japan)

・参加費無料

主催:芝浦工業大学SIT総合研究所フレキシブル実装工学研究センター                               (2011-2015年度、文部科学省私立大学戦略的研究基盤形成支援事業)                                        [Center for Flexible System Integration (CFSI), Shibaura Research Laboratories, SIT]

概要:当研究センターの活動報告を皮切りに、基調講演に三次元加工技術である、FIB-CVDのパイオニアであり、現在わが国のナノインプリントを主導されている松井真二先生に基調講演をお願いいたしました。PBWを先導するシンガポール国立大学よりAndrew Bettiol教授、ハンガリーATOMKIより、Istvan Rajta博士、高エネルギーイオンビーム技術を牽引している日本原子力研究開発機構から3名の研究者、群馬大学よりそれぞれ講演者をお招きしてシンポジウムを開催いたします。多方面の皆様のご参加をお待ちしております。

プログラム: 第3回プロトンビームライティングとその応用に関するシンポジウム(20160118)

参加申し込み:参加申し込みフォームへ

*************上記フォームにアクセス出来ない場合***********************

芝浦工大 西川宛 、メールアドレス:nishi@shibaura-it.ac.jpにお送りください。

メールタイトル:PBWシンポジウム申し込み、として本文に以下を記載願います。

—————————————————————————————-

ご氏名:

ご所属:

電子メールアドレス:

懇親会参加(いずれか一方を消してください):参加する・参加しない

—————————————————————————————-

(終了イベント)

  • 2015/6/3-5, 東京ビッグサイトにてJPCA Showアカデミックプラザにて発表・展示を行いました。
    • AP13  ナノ粒子を用いた高アスペクト比微細構造体の作製  佐野 遼、林 秀臣、西川 宏之
    • AP14 超実装とPBW技術 林 秀臣、佐野 遼、西川 宏之
  • 2015/5/26-5/29 EIPBN2015 (SanDiego)にて下記の発表を行いました。
    • P07-03 Proton beam writing on polyvinylidene difluoride films for high-aspect-ratio micro-structuring, H. Matsuoka, H. Hayashi, H. Nishikawa, H. Koshikawa, Y. Maekawa
  • 以下の学会発表を行いました。
ポリフッ化ビニリデン表面への陽子線照射効果、西川 宏之、松岡 北斗、佐野 遼、林 英臣、前川 康成、11a-B2-7、第62回応用物理学会春季学術講演会(2015年3月11日)
三次元構造誘電泳動デバイスを用いた金属ナノ材料の立体形成片岡 良介、時田 寛也、内田 諭、佐野 遼、西川 宏之、
第62回応用物理学会春季学術講演会、13p-D5-9 (2015年3月13日)
集束陽子ビーム加工によるPDMS薄膜内包型光スイッチング素子の開発 、川端 駿介、猿谷 良太、加藤 聖、新木 潤、三浦 健太、加田 渉、佐藤 隆博、江夏 昌志、石井 保行、神谷 富裕、西川 宏之、花泉 修、第62回応用物理学会春季学術講演会、13p-P10-2 (2015年3月13日)
ナノ粒子を用いた高アスペクト比微細構造体への導電性付与、佐野遼、林秀臣、西川宏之、第29回エレクトロニクス実装学会講演大会、16P1-7(2015/3/16)
  • 2015/1/28-30、東京ビッグサイトにて開催されるnano tech 2015(第14回国際ナノテクノロジー総合展・技術展に「芝浦工大マイクロ・ナノイノベーションコンソーシアム」として出展します。
  • 2015/1/23(金)13:30~17:00電気学会リソグラフィ将来技術調査専門委員会にて、発表を予定しています。西川宏之、陽子線描画技術のリソグラフィ応用に関する研究
  • MNC2014, November 4-7, 2014, Fukuoka, Japanにて以下の発表をしました。

(Invited) High-aspect-ratio micro-fabrication by proton beam writing, H. Nishikawa. Y. Ishii, and T. Kamiya, 27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), Paper No. 6A-5-2, (November 4th-7th, 2014)

  • 佐野遼、林秀臣、西川宏之、ナノ粒子を添加したSU-8の集束陽子線による加工に関する研究、第57回自動制御連合講演会(SICE)、オーガナイズドセッション「ナノ・マイクロ計測制御のためのイオンビーム加工と評価」、No. 2D07-2 (2014/11/11)
  • 誘電泳動による金属ナノ材料の立体配置の基礎検討、時田寛也、内田諭、佐野遼、西川宏之、第75回応用物理学会 No.19p-A3-15(2014/9/19)
  • Local Refractive-Index Changes in Polydimethylsiloxane Induced by Proton Beam Writing Aimed for Optical Waveguides, International Union of Materials Research Societies- The IUMRS International Conference in Asia 2014 (IUMRS-ICA 2014), Paper No. D1-O26-002 (2014/8/26)IUMRS-ICA 2014, August 24-30, 2014, Fukuoka,  Japanにて以下の発表をしました。
  • ICNMTA2014, July 6-11, 2014, Padova, Italyにて、以下の発表をしました。

(Invited) A flexible dielectrophoretic device with high-aspect-ratio pillar arrays fabricated by proton beam writing, G. Ayugase, H. Nishikawa, H. Tokita, S. Uchida, T. Sato, Y. Ishii, and T. Kamiya, 14th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications Book of Abstracts, p.34 (July 7-11, 2014)

  • EIPBN2014、May 27-30, 2014, Washington DC. /eipbn.org/にて、以下の論文を発表しました。Hijiri Kato, Hidetaka Hayashi and Hiroyuki Nishikawa, “Fabrication of PDMS micro-lens arrays on a PET film by proton beam writing”.
  • 佐野遼、林秀臣、西川宏之、ナノ粒子を添加したSU-8の集束陽子線による加工に関する研究、第57回自動制御連合講演会(SICE)、オーガナイズドセッション「ナノ・マイクロ計測制御のためのイオンビーム加工と評価」、No. 2D07-2 (2014/11/11)
  • 誘電泳動による金属ナノ材料の立体配置の基礎検討、時田寛也、内田諭、佐野遼、西川宏之、第75回応用物理学会 No.19p-A3-15(2014/9/19)
  • 2014/3/15陽子線誘起反応計測システム(TCK社製)を導入しました。以下の機能が付加されました。
    1. CAD連携描画機能(Vector Works, ラスタースキャン方式)
    2. 蛍光X線検出機能(AMPTEK, XR-100SDD)
    3. 可視・紫外蛍光分光機能(Ocean Optics, QE65 Pro)
  • 2014/3/10 日本原子力機構高崎量子応用研究所にてPBW研究会を実施しました。
  • ナノ・マイクロ ビジネス展/ROBOTECH2014(2014/4/23-25、パシフィコ横浜)にて芝浦工大マイクロナノイノベーションコンソーシアムのメンバーとして展示会に参加します。
  • 2013å¹´11月シンチレーションタイプの二次電子検出器(TCK社製)を導入しました。よりクリアな二次電子像の測定が可能となりました。
  • 2013å¹´11月26日(火)新化学技術推進協会(JACI)電子情報技術部会 MEMS分科会にて「集束陽子ビーム描画によるフレキシブルな高アスペクト比微細加工と応用」と題した講演を行いました。
  •  MNC2013(Nov. 5-8, 2013, Sapporo, JAPAN)にて以下の論文を発表しました。      7P-7-112,  Effects of the Height of Pillar Arrays Fabricated by Proton Beam writing on the Trapping Capability of Bacteria by 3-D Dielectrophoresis, G. Ayugase, H. Nishikawa, T. Sato, Y. Ishii, T. Kamiya, H. Tokita, and S. Uchida,
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて発表しました。「集束陽子線による PET フィルム上のマイクロレンズアレイ作製」 、加藤 聖,林 秀臣、西川 宏之 、日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催第5回 マイクロ・ナノ工学シンポジウム、7PM1-D-3、2013/11 /7.
  • 2013/10/10,11、第8回高崎量子応用研究シンポジウム(高崎シティギャラリー)にて発表しました。1P-48, 「プロトンビーム描画によるフレキシブル誘電泳動デバイスの創成」、鮎瀬銀也、西川宏之、内田諭、佐藤隆博、石井保行、神谷富裕
  • MNE2013 (16 – 19 September 2013, London)にて以下2件の発表をしました。

P‐Fab‐58, Yoshikazu Koike, Hiroki Hagiwara, Tomoki Ogura, Daichi Aoki, Yuji Anzai, Kouta Seki, and Hiroyuki Nishikawa, Micro fabrication of Poly L Lacid using PBW and Piezoelectric application

P‐Fab‐59, Hiroyuki Nishikawa, Yutaka Takeno, Hidetaka Hayashi, Yasunari Maekawa,  Micro‐fabrication of polyimide films by proton beam writing

  • 2013/8、加速管シャフト工事を行いました。これにより、ビームの安定化が実現しました。
  • 2013/8、セラトロンの保守部品を入手し、二次電子検出器が復旧しました。
  • 2013/3、三次元柔構造作製システムがクリーンルームに導入されました。ナノインプリント装置と超臨界現像乾燥装置を中心に三次元柔構造の作製が可能になります。
  • EIPBN2013にて発表しました。

Hiroyuki Nishikawa, Takashi Hozumi, Application of Proton Beam Writing to a Direct Etching of PTFE for PDMS Replica Molding, Shibaura Institute of Technology, The 57th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication, P01-02, May 28 – 31 (2013)

  • 2013/6/5-7, JPCA Show 2013(東京ビッグサイト):フレキシブル実装工学研究センターとして、展示行います。それと共に、アカデミックプラザにて、6/7(金)に以下の発表を行いました。AP-29, 集束陽子線によるPETフィルム上のマイクロレンズアレイ作製、加藤 聖、斎藤 圭祐、高橋 潤一、林 秀臣、西川 宏之
  • 2013å¹´7/3-5まで、ナノ・マイクロ ビジネス展(東京ビッグサイト)にて、フレキシブル実装工学研究センターとして出展しました。ご来場有難うございました。
  • 芝浦ハッケン展2012にポスター展示「集束陽子線描画によるフレキシブル微細光学素子の開発と応用」を行います。2012å¹´11月5日(月) 13:00~18:30【12:30受付開始】
  • 芝浦工業大学 芝浦校舎8F(〒108-8548 東京都港区芝浦3-9-14)
  • 【アクセス】JR山手線・京浜東北線田町駅芝浦口から徒歩3分、都営地下鉄三田線三田駅から徒歩5分
  • 第22回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム 秋季大会 MES2012 (会場:大阪府立大学中百舌鳥キャンパス、会期: 2012å¹´9月12日(æ°´),13日(木) )にて以下の発表を行いました。
  • 9/13 (木)【2B1】マイクロ加工
    • 2. 集束プロトンビームを用いたPMMA光ファイバーの局 所微細加工 ○加藤 聖,西川宏之,林 秀臣(芝浦工業大学)
    • 4. PB-LIGAを用いた局所インプリントプロセスとその応 用展開 ○高橋潤一,田邊裕介,林 秀臣,西川宏之(芝浦工業 大学)
  • 第43回電気電子絶縁材料システムシンポジウムで発表しました。2012å¹´9月10日(月)~12日(æ°´)、静岡県三島市・三島市民文化会館
  • 第7回高崎量子応用研究シンポジウム(2012å¹´10月11日(木)~12日(金)、高崎シティギャラリー)にてポスター発表しました。
  • ICNMTA2012(Lisbon, Portugal)にて3件の論文を発表しました。
  • Microelectronic devices on polyimide substrate processed by Proton Beam, H. Hayashi, Y. Takeno, H. Nishikawa, 13th International Conference on Nuclear MicroprobeTechnology & Applications, O-39, p.50 (22-27 July 2012, Lisbon, Portugal)
  • Micromachining of Polytetrafluoroethylene by Direct Etching Using Proton Beam Writing, H. Nishikawa, S. Makita, Y. Harashima, 13th International Conference on Nuclear Microprobe Technology & Applications, O-42, p.53 (22-27 July 2012, Lisbon, Portugal)
  • Flexible optical components of silicone fabricated by proton beam writing,  K. Saito, H. Nishikawa, H. Hayashi, 13th International Conference on Nuclear Microprobe Technology & Applications, P-67, p.140 (22-27 July 2012, Lisbon, Portugal)

 

  • 第23回マイクロマシン/MEMS展(2012å¹´7月11日(æ°´)から13日(金)まで、東京ビッグサイト)に出展しました。
  • JPCAショーにてアカデミックプラザ・プログラム(2012 å¹´6月13日(水)〜15日(金))に「フレキシブル実装工学研究センター」として出展しました。6月14日(木)には以下の発表をしました。AP-25、16:30 ~17:00、「集束プロトンビームによるシリコーン製フレキシブル光学素子の形成」、芝浦工業大学 先端工学研究機構 フレキシブル実装工学研究センター 齋藤 圭祐、林 秀臣、西川 宏之
  • 第59回応用物理学関係連合講演会にて、5件の発表をいたしました。
  • 2012/3/16 産学官連携研究交流会にて研究センターを公開
  • 2012å¹´1月23日 第6回PBW研究会およびCFSIキックオフミーティングを実施しました。
  • 2011年度放電学会年次大会(2011å¹´11月26日(土)、於東京大学工学部)にて3件の発表をしました。
  • ICMAT2011(Jun.26-Jul.1, 2011, Singapore)にて5編の論文発表を行いました。
  • マイクロマシンMEMS展(2011/7/13-15)に「フレキシブル実装工学研究センター」として出展しました。ご来場いただいた皆様、ありがとうございました。
  • 2011年度私立大学戦略的研究基盤形成事業(フレキシブル実装工学研究センター)に採択されました。
  • プロトンビームライターは、3.11の震災の当時、運転しておりました。
  • 停電で真空が落ちた以外は特に影響なく、無事復旧し、運転しております(2011/4/15現在)。

2006-2010  フレキシブル微細加工研究センター

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です